삼성전자 일본産 불화수소 완전대체 극비작전,韓∙中産 테스트완료,9월말 납품개시

일본 아베 총리가 한국 반도체산업에 치명타를 주기 위해 반도체생산의 핵심소재인 불화수소를 수출규제 품목으로 지정, 29일부터 수출규제에 들어간 가운데, 삼성전자는 한국과 중국산 불화수소 성능개선을 통해 내년 하반기께 일본산 불화수소를 완전히 대체하는 시나리오를 마련했다.  

반도체업계에 따르면 삼성전자는 이미 국내 불화수소업체와 중국 업체의 불화수소에 대한 내부 테스트를 마친 것은 물론 조기 양산을 위해 이들 협력회사 라인증설을 요구, 9월말부터 순차적으로 고순도 불화수소를 납품받을 계획인 것으로 30일 확인됐다.

실제 불화수소생산업체 솔브레인이 삼성전자 내부 테스트를 통과한 것으로 피치원미디어 취재결과 확인된 데 이어 삼성전자가 이미 고순도 불화수소에 사용할 중국산 불산의 품질 테스트를 마쳤던 것으로 확인됐다.

이에 따라 일본 정부의 반도체소재 수출규제는 새로운 양상으로 접어들게 됐으며,삼성전자가 9월말부터 일본산을 대체하면서 심각한 차질을 빚을 것이란 당초 우려를 빠르게 불식시킬 것으로 전망된다.

하지만 반도체업계는 고순도 불화수소의 경우 순도개선 및 양산체제까지 상당한 시일이 소요돼 삼성전자 반도체라인은 내년 중반기까지는 일본산 불화수소 물량에 상당 부분 의존해야 하고 그 이후 물량 대체가 가능할 것으로 내다보고 있다.

이로써 지난 7월 1일, 일본 아베 총리가 반도체와 디스플레이 부품의 수출 규제를 처음으로 예고, 국내 반도체산업계는 물론 산업계 전반에 엄청난 충격을 안겨준 일본의 무역 보복 전쟁은 1차 타깃인 반도체산업에 대한 치명적인 타격을 입힐 것이란 전망과는 달리 빠르게 한국산과 중국산으로 대체되는 양상으로 번질 것으로 보인다.

■ 한국,중국산 불화수소 테스트 마친 삼성전자의 007 극비작전

충남 아산 소재 팸테크놀로지는 이달부터 일본산이 아닌 중국 DFD사의 불산을 들여와 삼성전자 품질테스트를 마친 것으로 확인됐다. 이 같은 사실은 삼성전자에 수출하던 일본 업체조차 파악하지 못했던 것으로 알려졌으며 삼성전자는 이미 일본 정부의 수출규제발표 이전에 내부 테스트에 들어갔던 것으로 확인됐다.

팸테크놀로지는 일본 모리타화학으로부터 수입한 불산으로 고순도 불화수소를 제조해 삼성전자와 SK하이닉스에 납품해온 회사로, 이달부터 일본산이 아닌 중국 DFD사의 불산을 실은 탱크로리가 수시로 공장을 드나드는 모습이 포착됐다고 일부 언론을 통해 보도됐다.

실제 일본산 불산을 실은 탱크로리와 확연히 다르다며, 이 업체가 중국산 불산의 품질 테스트를 마친 것은 지난달 1일, 아베 총리가 수출 규제를 예고한 날이라고 jtbc 등 일부 매체가 보도했다. 팸테크놀로지 관계자는 “공식적으로 삼성전자와 SK하이닉스에 납품 허가를 받은 것은 7월 1일 이후에..”라며 “본격적으로 납품은 지난주(8월 첫째 주)”라고 말했다고 이 매체는 소개했다.

반도체 업계에 따르면 현재 중국산 불산은 삼성물산이 수입, 팸테크놀로지가 가공후 삼성전자에 납품하고 있다. 삼성전자는 지난해부터 이미 일본이 아닌 다른 나라 회사들의 불산을 테스트 해왔고, 최근 중국 DFD사 불산이 품질 테스트를 통과한 것으로 확인됐다.

이 매체는 삼성물산 관계자 말을 인용, “테스트 통과한 거 맞고요. 승인된 거 같고 일부 물량은 발주가 나와서 진행 중인 것으로 확인이 됐다”고 보도했다. 중국산 불산은 일본산보다 불순물이 많고 가격도 비싸지만, 삼성전자는 늘어난 생산 비용을 직접 부담하며 중국산을 쓰기로 한 것으로 확인됐다.

일본 정부 규제를 피해 중국 공장을 통해 삼성전자에 불산을 우회 수출하겠다던 일본 업체 역시 이 같은 사실을 파악하지 못했던 것으로 나타났다. 실제 모리타 관계자 말을 인용, “들은 적이 없네요. 최근에 삼성이 중국에서 불산을 들여오고 있단 얘기군요”라고 jtbc는 소개했다.

■ 솔브레인,삼성전자 테스트 합격,9월말 납품개시,日産완전대체 기대

불화수소생산업체 솔브레인이 삼성전자 내부 테스트를 통과, 9월말 삼성전자에 본격적인 납품을 개시할 것으로 피치원미디어 보도를 통해 밝혀졌다. 솔브레인이 테스트에 엄격하기로 유명한 삼성전자의 내부 테스트도 통과함에 따라 조만간 국산 불화수소가 삼성전자 공정에 본격 투입될 것이 확실시되고 있다.

솔브레인은 현재 증설 중인 충남 공주 공장라인을 9월말부터 본격 가동에 들어가고, 이곳에서 생산되는 불화수소 추가물량 90%이상을 삼성전자 반도체 공정에 공급할 예정이다. 솔브레인은 경기 파주와 공주에 공장을 가동 중이다.

피치원미디어 확인결과 솔브레인 측은 삼성전자 내부 테스트와 관련해 기존에도 일부 공급해온 상황이라며, 어느 시점부터 얼마나 공급할지 등은 전혀 결정된 바 없다는 입장이다. 솔브레인은 이미 고순도 액체 불화수소를 삼성전자 등에 일부 납품하고 있던 기업으로, 일본 제품에 비해 낮은 신뢰도로 인해 그동안 삼성전자는 대부분 물량을 세계 최고순도를 자랑하는 일본산 제품에 의존해왔다.

솔브레인은 올해 12월 가동을 목표로 지난 4월, 충남 공주공장 증설에 착공했는데, 일본의 불화수소 수출금지조치가 나오면서 삼성전자와 SK하이닉스의 긴급요청으로 증설라인 가동 시점을 9월로 앞당겼다. 반도체업계는 이번 사건을 계기로 삼성전자 솔브레인 물량을 대량으로 구매할 경우 액체 불화수소의 국산화는 빠른 속도로 진행될 것으로 전망하고 있다.

솔브레인의 액체 불화수소가 삼성전자 반도체 공정에 적합한지를 테스트하는 과정은 이미 지난 7월 24일께 마쳤으며 결과는 공정 투입이 가능한 품질 수준으로 판결 난 상태다. 또 증설되는 물량의 대부분을 삼성전자가 받아주기로 한 것으로 확인됐다.

이에 따라 반도체생산 핵심소재인 불화수소의 탈(脫)일본 전략이 점차 현실화하고 있다. 삼성전자가 이번 솔브레인의 액체 불화수소 테스트와 기체 불화수소 도입을 함께 검토한 데 이어 팸테크놀로지를 통해 중국산 불화수소 테스트를 완료함에 따라 일본산 대체작업은 더욱 속도를 낼 것으로 보인다.

기체 불화수소의 경우 후성이 납품업체로 거론되고 있으며, 삼성전자 내부 테스트 결과는 아직 나오지 않은 것으로 알려졌다. 솔브레인이 생산하는 고순도 액체 불화수소의 경우 이미 삼성전자 공정에 일부 사용돼온 데다 이번 삼성전자의 내부 테스트를 통과함에 따라 솔브레인은 추가 증설을 통해 9월말까지 최대한 생산물량을 늘린다는 계획이다.

실제 9월말 증설이 완료되는 솔브레인 공주 공장의 경우 추가 생산되는 고순도 불화수소 물량이 삼성전자가 필요로 하는 반도체 생산에 충분한 수준인 것으로 알려져 일본 정부가 한국 반도체산업계에 급소를 찔렀다는 불화수소 수출금지 건은 예상외로 빠르게 국산화를 통해 일본산 수입 대체에 성공할 것으로 전망된다.

실제 솔브레인이 증설라인을 통해 생산할 예정인 불화수소 순도는 반도체 공정에 투입되는 고순도 수준인 99.999% 이상인 것으로 알려졌다. 고순도 불화수소는 크게 액체(에천트)와 기체(에칭 가스)로 나뉜다. 솔브레인은 고순도 액체 불화수소를 생산할 수 있는 원천 기술을 확보한 것으로 알려져 이번 삼성전자 납품물량 확대를 계기로 일본산을 제치고 완전 국산화 대체에 성공할 것으로 전망된다.

반도체공정 핵심소재인 불화수소는 반도체 회로를 모양대로 깎아내는 데 필요한 원료로, 주로 에천트는 식각(에칭) 과정에, 에칭 가스는 세척 과정에 사용된다. 삼성전자가 솔브레인의 액체 불화수소를 본격 도입키로 함에 따라 일본의 수출 규제에 따른 반도체소재 국산화가 더욱 빠르게 진행될 것으로 보인다.

■ 일본,규제이후 처음으로 삼성전자에 불화수소 수출허가,일본의 속셈

일본 정부가 한국에 대한 수출 규제 조치를 단행한 반도체 핵심소재 3개 품목 중 하나인 불화수소 수출을 규제 이후 처음으로 허가했다. 지난달 4일 규제 이후 두 달 만이다. 일본 경제산업성은 29일 반도체 제작 핵심소재인 불화수소 수출 1건을 승인했다. 수출허가를 받은 불화수소는 국내 생산이 어려운 고순도 불화수소로, 수출 대상기업은 삼성전자인 것으로 확인됐다.

일본 정부는 지난달 4일 고순도 불화수소, 플루오린 폴리이미드, 극자외선(EUV) 파운드리용 포토레지스트(감광재) 등 3개 품목에 대한 수출심사를 강화, 이중 포토레지스트만 지난 7일과 19일 두 차례 수출을 허가해 한국에 반입된 바 있다.

규제이후 불화수소 수출이 허용된 것은 이번이 처음이다. 지난달 반도체 세정 공정에 사용하는 일본산 불화수소의 대(對)한국 수출량은 84%가 급감했다. 일본 정부가 규제후 처음으로 수출을 허가한 것은 우리 정부의 WTO 제소 가능성을 염두에 둔 조치로 분석된다. 앞서 일본 정부는 지난 7월 4일 반도체 소재 등 3종에 대한 대(對)한국 수출 규제에 나선 이래 유독 고순도 불화수소에 대해서는 수출 규제를 풀지 않고 있다.

실제 일본 정부는 일본 불화수소업체를 통해 삼성전자와 SK하이닉스를 상대로 순도 99.999% 이상 불화수소를 사용하는 반도체 공정의 상세기술 도표는 물론 배관, 설비 배치도 등 첨단 공정을 요구한 것으로 확인돼 아베 정부가 삼성전자와 SK하이닉스의 첨단공정 자료를 빼내기 위한 의도가 깔렸다는 의혹이 제기되고 있다.

실제 일본 경제산업성이 고순도 불화수소 관련 개별허가 신청 업체들에 최종 제품의 생산상황에 관한 자료는 물론 공장의 최종 제품 제조공정에 관한 자료를 워드나 PDF파일 등의 형태로 요구한 것으로 나타났다.

이런 제출 서류는 수출규제 소재 3종 중 EUV 포토레지스트와 불화 폴리이미드에는 없는 목록으로 불화수소에만 요구하고 있다. 특히 일본 정부가 구체적으로 제조공정을 나타낸 블록 다이어그램(도표), 제조공정도 설명서 등을 요구하고 있어 삼성전자의 차세대 시스템 반도체 등 핵심 공정의 모든 기술내용을 달라는 것이나 마찬가지라는 분석이 제기되고 있다.

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